薄く変形の著しい半導体ウェハで表裏面に接触してはならない欠陥観察検査を得意とする
| 事業所所在地 | 〒720-0823 福山市千代田町１－１３－３１ |
| 連絡先 | TEL：084-971-7010 FAX：084-953-5330 |
| ＵＲＬ | https://atel-corp.co.jp/ |
| 製品名・技術名 | タイコウェハ用マクロミクロ検査装置（オンリーワン） |
| 製品・技術の特徴 | HOSTからウェハの欠陥位置座標データを取得し、電動精密XYステージ上に自動搬送されたウェハ上の欠陥の座標位置に位置決めし、金属顕微鏡観察検査（ミクロ検査）を行う装置にウェハ表裏面全域の目視観察検査（マクロ検査）を行うユニットを追加した装置になります。マクロ検査では、非接触でウェハの表裏面の目視観察ができます。あらかじめ登録した角度の他に、ジョイスティックによるマニュアル操作も可能であらゆる傾斜姿勢のウェハを無限回転させることで、鮮明な目視検査が可能です。 |
| セールスポイント | パワー半導体やMEMS半導体製造ラインにおいて、薄く変形の著しいウェハの検査で表裏面に接触する事なく、自由自在のウェハ姿勢で目視観察ができ、金属顕微鏡で表裏面のレビュー(自動XYステージによる座標値で欠陥を観察)ができる。 更にHOSTとの通信で欠陥情報を取得し、マップ表示＆欠陥位置選択機能、画像のキャプチャ、測長等の機能も備える。 実績は多く、全自動欠陥高精細撮像装置（ＡＤＲ）、全自動表裏面マクロ欠陥検査装置（ＡＯＩ）まで品揃えをしている。 |
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