Regional Promotion

地域振興

（株）ジェーイーエル

噴流ベルヌーイハンド

製品名・技術名	基板保持装置（オンリーワン）
製品・技術の特徴	供給ポートから導入されたエアがノズルから噴き出され、ハンドとウェーハ間に負圧を発生させます。ハンドをデュフューザーとしての効果が得られる形状とすることで噴射部から離れてもウェーハの吊り下げ効果が弱まらないことを特徴としています。
セールスポイント	近年、半導体デバイスメーカー各社では、効率化のためシリコンウェーハの薄膜化を進めています。そのため、繊細な薄物ウェーハに対応した低価格ハンドのニーズも高まっています。当技術を利用すればウェーハを低ストレスで保持することが可能となり、ウェーハへのダメージを最小限とできることから開発しました。

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